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Franz, Gerhard.

概要

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書目資訊

Low pressure plasmas and microstructuring technology by: Franz, Gerhard.; SpringerLink (Online service) (書目-電子資源)

主題

Plasma engineering. Plasma etching. Electronics and Microelectronics, Instrumentation. Surfaces and Interfaces, Thin Films. Plasma (Ionized gases)- Industrial applications. Optical and Electronic Materials. Material Science. Atomic and Molecular Structure and Spectra.

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