Design and manufacturing of active m...
Hesselbach, Jurgen.

 

  • Design and manufacturing of active microsystems
  • 紀錄類型: 書目-電子資源 : 單行本
    正題名/作者: Design and manufacturing of active microsystems/ edited by Stephanus Buttgenbach, Arne Burisch, Jurgen Hesselbach.
    其他作者: Buttgenbach, Stephanus.
    出版者: Berlin, Heidelberg :Springer-Verlag Berlin Heidelberg, : 2011.,
    面頁冊數: xii, 444 p. :ill., digital ; : 24 cm.;
    叢書名: Microtechnology and MEMS,
    Contained By: Springer eBooks
    標題: Microtechnology. -
    電子資源: http://dx.doi.org/10.1007/978-3-642-12903-2
    ISBN: 9783642129032 (electronic bk.)
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